CMP在線檢測可為超大粒徑顆粒提供可靠、的粒徑和計數(shù)數(shù)據(jù)，采用擁有的單顆粒測量技術(shù)和動態(tài)自動稀釋技術(shù)實現(xiàn)單顆粒依次檢測分析，具有的靈敏度、解析度和度，不存在顆粒間相互干擾問題。

   由于獲得的是真實粒度分布，因此測量結(jié)果重復(fù)性好、可靠、統(tǒng)計精度高，適于檢測分析亞微米顆粒體系中較大顆粒的分布信息，動態(tài)自動稀釋和清洗系統(tǒng)使得測試方便快捷，只需通過鼠標(biāo)的單擊操作，即能幫助用戶在短時間內(nèi)完成從進樣到檢測，進而清洗系統(tǒng)的所有操作，使用戶獲得粒徑的詳細(xì)分布信息。CMP在線檢測校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制過程中，為了批與批之間的均勻性、一致性和穩(wěn)定性，必須對標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制備工藝、均勻性和穩(wěn)定性評定要求、定值方法、不確定度評定方法、包裝方式、檢驗規(guī)則等相關(guān)技術(shù)內(nèi)容進行統(tǒng)一的規(guī)定和要求。

   按照J(rèn)JG 1006-1994《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)技術(shù)規(guī)范》要求，CMP在線檢測校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制步驟基本有以下四個方面：首先，選擇合理的制備程序、工藝，并防止外來污染及待定特性量的量值變化，采用滿足顆粒計數(shù)器校準(zhǔn)特殊要求無色透明平底瓶子分裝包裝儲存，便于在校準(zhǔn)過程中隨時觀察標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的用量與狀態(tài)；然后按照隨機數(shù)表由同批制備的樣品中隨機抽取樣品，組成檢查樣本，進行均勻性檢驗；再則標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)在規(guī)定的儲存或使用條件下，定期進行穩(wěn)定性檢驗；后在均勻性檢驗和穩(wěn)定性檢驗合格后進行定值并評定不確定度。

   CMP在線檢測定值方法是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制的關(guān)鍵技術(shù)，定值是對標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的賦值，在顆粒計數(shù)器校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定值方法研究中，國內(nèi)外顆粒度領(lǐng)域基本采用相同原理的方法，采用測量方法對顆粒計數(shù)器校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進行定值。CMP在線檢測一般通過膜分離技術(shù)，將單位體積的顆粒計數(shù)器校準(zhǔn)油相標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)中的固體顆粒收集在超細(xì)的微孔濾膜上，使用光學(xué)顯微鏡或掃描電子顯微鏡采集微孔濾膜上顆粒的特征圖像，采用軟件統(tǒng)計分析不同顆粒粒徑的數(shù)量及大小，得出終定值結(jié)果。